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產(chǎn)品特性：

• 是一系列非接觸電容式間隙和平行度傳感器系統(tǒng) 
• 涂布機(jī)間隙一致性優(yōu)于0.25um，在整個(gè)涂布模長度范圍內(nèi)間隙小到110um
• 測(cè)量工藝過程中CVD涂鍍頭和金屬載體輥筒間的間距，溫度可達(dá)600°C

適用范圍：

• 太陽能面板市場(chǎng)
• 硅層上CVD法沉積薄膜的過程中，以及處理額外層和玻璃面板與反射背板間光伏組件的密封

Capacitec Inc. (馬薩諸塞州Ayer) 首次面向太陽能面板市場(chǎng)推出了一系列非接觸電容式間隙和平行度傳感器系統(tǒng)。這些系統(tǒng)測(cè)量太陽能面板生產(chǎn)過程中液體、抗反射涂層和CVD（化學(xué)氣相沉積）層涂鍍頭到媒介間的精確距離，能幫助制造商保持薄膜鍍層一致性，提高成品率和效率。

Capacitec是太陽能市場(chǎng)的新進(jìn)者，該公司在為半導(dǎo)體制造設(shè)備提供測(cè)量技術(shù)和為OEM及終端用戶設(shè)計(jì)狹縫口模涂布機(jī)的窄隙測(cè)量系統(tǒng)上擁有超過15年的經(jīng)驗(yàn)。借助其在液體涂布市場(chǎng)的產(chǎn)品，Capacitec開發(fā)了這些系統(tǒng)，獲得涂布機(jī)間隙一致性優(yōu)于0.25um，在整個(gè)涂布模長度范圍內(nèi)間隙小到110um。

在薄膜光伏面板制造中，Capacitec的系統(tǒng)用于在硅層上CVD法沉積薄膜的過程中，以及處理額外層和玻璃面板與反射背板間光伏組件的密封。

在柔性太陽能面板中，CVD涂布機(jī)用于透明導(dǎo)電氧化物（TCO）的生產(chǎn)中。平行度傳感器系統(tǒng)用來測(cè)量工藝過程中CVD涂鍍頭和金屬載體輥筒間的間距，溫度可達(dá)600°C。